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產(chǎn)品名稱:

TOC超純水 電子級(jí)水 超純水設(shè)備

產(chǎn)品品牌: Onyx/安力斯 價(jià)格:
廠商性質(zhì): 生產(chǎn)廠家 產(chǎn)品時(shí)間: 2025-04-15
電子級(jí)水通常指需電子行業(yè)用水,其水中要去除細(xì)菌、泥沙、膠體、懸浮物、金屬這些導(dǎo)電雜質(zhì)。其電阻率≥18MΩ/cm(25℃,EW-I)。

產(chǎn)品概述

 

電子級(jí)水概念明晰

在電子行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)中,用水標(biāo)準(zhǔn)是極為嚴(yán)格的。在這些行業(yè)中,無(wú)論是材料、電子元件、電路板,還是設(shè)備等的清洗工作,對(duì)水質(zhì)的要求都需要達(dá)到高純水的級(jí)別。電子級(jí)水通常指需電子行業(yè)用水,其水中要去除細(xì)菌、泥沙、膠體、懸浮物、金屬這些導(dǎo)電雜質(zhì)。

其電阻率≥18MΩ/cm(25℃,EW-I)。

     《中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn):電子級(jí)水(GB/T 11446.1-2013)》將原電子級(jí)水級(jí)別由5級(jí)改為4級(jí),技術(shù)內(nèi)容增加了金屬鎳、硝酸根、磷酸根、硫酸根等指標(biāo);增加了有關(guān)水的詞匯本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所歸口。

圖片3.png

電子級(jí)水檢測(cè)指標(biāo):

1、電阻率的測(cè)定

2、全硅的測(cè)定

3、微粒數(shù)的測(cè)定:0.05μm-0.1μm、0.1μm-0.2μm、0.2μm-0.3μm、0.3μm-0.5μm、>0.5μm

4、水中痕量金屬檢測(cè)項(xiàng)目:銅、鋅、鎳、鈉、鉀、鐵、鉛、氟、氯

5、細(xì)菌個(gè)數(shù)的測(cè)定

6、痕量陰離子檢測(cè)項(xiàng)目:亞硝酸根離子、硝酸根離子、硫酸根離子、磷酸根離子

7、總有機(jī)碳得測(cè)定

8、溴含量測(cè)定

電子級(jí)水檢測(cè)、高純水檢測(cè)、電子工業(yè)清洗用水檢測(cè),這些適用于GB/T 11446系列標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)然除了電子工業(yè),半導(dǎo)體工業(yè),在微電子工業(yè)、發(fā)電工業(yè)、制藥行業(yè)以及實(shí)驗(yàn)室等眾多領(lǐng)域的清洗用水,也可以參考GB/T 11446檢測(cè)。理論上高純水的電阻率要求達(dá)到18.3MΩ.cm.很多時(shí)候抽檢檢測(cè)只需要檢測(cè)電阻率、鈉離子、全硅這三個(gè)指標(biāo)即可。

超純水之于微電子的重要性

在微電子行業(yè)生產(chǎn)制備中,超純水主要用于清洗硅片,少量用于制備藥液、硅氧化的水蒸氣源、一些設(shè)備的冷卻水、制備電鍍液等。微電子行業(yè)生產(chǎn)中80%的工序都需要用高純水來(lái)清洗硅片,水質(zhì)的好壞與微電子產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)量有很大關(guān)系。

? 水中的堿金屬(K、Na等)會(huì)使絕緣膜產(chǎn)生耐壓;

? 重金屬(Au、Ag、Cu等)會(huì)使PN結(jié)電壓降低;

? III族元素(B、Al、Ga等)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性變差,V族元素(P、As、Sb等)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性變差;

? 水中的細(xì)菌經(jīng)過(guò)高溫碳化后的磷(約占灰分的20-50%)會(huì)使P型硅片的局部區(qū)域變成N型硅片而導(dǎo)致器件性能變壞;

水中的微粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會(huì)造成電路短路或特性變差






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